全国首家12英寸晶圆再生工厂在合肥量产

来源：全球半导体观察整理 2021-07-16 10:16:01

据合肥新闻联播消息，7月15日，，由至纯科技投资10亿元建设的晶圆再生基地（一期）项目（至纯科技合肥至微项目）在合肥市新站高新区正式量产。报道指出，该项目是国内首个立项又最先量产的12英寸晶圆再生工厂。

图片来源：合肥新闻联播视频截图

报道显示，合肥至微半导体有限公司，是至纯科技旗下半导体晶圆再生和部件再生项目的载体，为集成电路企业12英寸晶圆提供晶圆再生及零部件再生服务。根据资料，至纯科技致力于半导体设备、半导体工艺系统以及相关专业服务。

合肥至微半导体鸟瞰，图片来源：合肥新站区

根据合肥新站区消息，该项目投资约10亿元，包括晶圆再生和半导体部件再生。其中，晶圆再生项目是服务于中国半导体高阶市场的首条投产的12英寸晶圆再生产线，不仅填补了产业链的空白，也为合肥打造“中国IC之都”提供了强劲支撑。

据悉，晶圆再生指的是通过去除损耗控挡片表面的杂质和缺陷，使处理后的晶圆达到新片的标准，实现其循环再利用，进而为企业节约大量成本。

合肥新站区消息称，至微项目以14纳米晶圆厂的再生晶圆需求为设计基础，是服务于中国半导体高阶市场的首条投产的12英寸晶圆再生产线。项目全面达产后，可形成每年168万片晶圆再生及120万件零部件清洗的能力，满产后年产值至少可超过6亿元。

至纯集团董事长蒋渊表示，该项目于2020年3月开工，今年3月工厂开始试生产，到这个月，随着ISO认证的顺利通过，已经有了正式订单开始量产。

封面图片来源：拍信网

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